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準(zhǔn)分子預(yù)混氣的使用

可分為：硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設(shè)計(jì)將鋼瓶置于特氣柜內(nèi)，再通過管道將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場附近的閥門箱，而后再進(jìn)入制程機(jī)臺(tái)的使用點(diǎn)，于進(jìn)入機(jī)臺(tái)腔體之前，會(huì)有獨(dú)立的氣體控制盤與制程控制模塊聯(lián)機(jī)，以質(zhì)流流量計(jì)控制器進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制。氣體房和氣柜還須有自動(dòng)噴淋系統(tǒng)，但有的氣體如三氟化氯，硅1烷遇水反應(yīng)，供應(yīng)準(zhǔn)分子預(yù)混氣，這時(shí)就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。

氮?dú)庾鳂I(yè)時(shí)應(yīng)注意的安全事項(xiàng)在可能發(fā)生氮?dú)庑孤┑奈ｋU(xiǎn)場所懸掛安全警示標(biāo)識(shí)，嚴(yán)禁無關(guān)人員進(jìn)入該區(qū)域。可能發(fā)生氮?dú)庑孤┑奈ｋU(xiǎn)場所，加設(shè)強(qiáng)制通風(fēng)裝置，以減少氮?dú)饩奂．?dāng)載氣中本底值大于樣品氣中某雜質(zhì)濃度時(shí)，該雜質(zhì)氣會(huì)出現(xiàn)“反峰”。配制標(biāo)準(zhǔn)氣的底氣要求就更嚴(yán)格了，否則本底值直接影響定量了。如果使用氦氣球無法避開陽光直射。

準(zhǔn)分子氣體的運(yùn)輸

容器的裝載

(1)不要超過車輛的1大裝載量。 ·

(2)充填壓縮氣體的容器等，原則上要橫裝。

(3)裝載容器時(shí)，要把瓶帽或保護(hù)器牢固地安裝在容器上。

(4)裝載容器要在放好車輛制動(dòng)器后進(jìn)行。

(5)為不使容器翻倒和滾下，要用欄繩封車。

(6)對于有毒氣體容器，準(zhǔn)分子預(yù)混氣廠商，要用木框或襯墊，青島準(zhǔn)分子預(yù)混氣，防止由于沖擊而造成氣體泄漏。

(7)氯1氣容器不能與乙1炔、氨或氫容器混裝。

(8)除上述以外，容器不可和消防法規(guī)定的危險(xiǎn)品(汽1油、煤油等)混裝。

(9)容器溫度有超過40℃的危險(xiǎn)時(shí)，要安裝罩布等遮陽光的東西。

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